濕電子化學(xué)品是指在集成電路、液晶顯示器、太陽能電池、LED制造工藝中被大量使用的液體化學(xué)品。隨著集成電路制作要求的提高，對工藝中所需的濕電子化學(xué)品純度的要求也不斷提高。從趨勢上看，滿足納米級集成電路加工需求是超凈高純試劑今后發(fā)展方向之一。
在濕電子化學(xué)品生產(chǎn)中，氟樹脂主要用于四大領(lǐng)域：

——濕電子化學(xué)品生產(chǎn)中鋼襯PFA/PTFE設(shè)備 

鋼襯PFA/PTFE設(shè)備分為塔器、罐體、管道和泵閥等，其特點(diǎn)在于不光是鋼制容器強(qiáng)度高，而且在強(qiáng)腐蝕介質(zhì)的工況下仍能保證-80℃~200℃的溫度區(qū)間應(yīng)用。致密的PFA/PTFE層保證其適用大部分電子化學(xué)品生產(chǎn)工況。 

鋼襯PFA/PTFE容器可分為模壓、板襯、噴涂等工藝，視不同工況可以選擇不同的內(nèi)襯工藝，成品使用需通過標(biāo)準(zhǔn)離子浸出實(shí)驗(yàn)；電子化學(xué)品生產(chǎn)成品包裝、儲存、運(yùn)輸一般采用更嚴(yán)格的超純PFA襯里設(shè)備。目前PFA樹脂主要生產(chǎn)廠家為科慕（杜邦）、大金、旭硝子等國外廠商。PTFE樹脂國內(nèi)廠商有東岳、巨化等，并且開始有少量試生產(chǎn)PFA樹脂。 

——濕電子化學(xué)品精餾用PFA/PTFE分離填料

PFA/PTFE分離填料具有通量大、效率高等特點(diǎn)，常用于超純物系的吸收和精餾。該系列規(guī)整填料通過浙江工業(yè)大學(xué)化學(xué)工程研究所的測試，其分離效率在中等噴淋密度時與同樣比表面積的金屬規(guī)整填料相比低7.8%；在模擬計算和實(shí)際設(shè)計的時候，精餾塔比相類似的金屬塔要略高；PFA/PTFE鮑爾環(huán)和拉西環(huán)等散堆填料，在吸收時用的比較多，例如用于SO3吸收制超純硫酸工藝。

——濕電子化學(xué)品精餾提純用主要內(nèi)構(gòu)件

PFA/PTFE管式、槽盤式分布器、復(fù)合支撐和除霧器等，這些內(nèi)構(gòu)件對汽液平衡、汽液均勻分布具有不可或缺的作用，特別是除沫器和除霧器的應(yīng)用對霧沫夾帶和微小液滴（3μm以下）起著重要作用。3μm以下的需要采用纖維除霧器去除。這也是精餾提純電子化學(xué)品的關(guān)鍵步驟之一。

——濕電子化學(xué)品生產(chǎn)中的熱交換設(shè)備

列管式PFA/PTFE換熱器較強(qiáng)的耐蝕防老化性能和超潔凈性能，使其應(yīng)用于化工、酸洗、電鍍、醫(yī)藥和電子化學(xué)品等行業(yè)。由于其耐溫性能較佳（-80℃～180℃），既適用于普通換熱及冷卻，亦適用于蒸汽加熱。  

隨著氟塑原材料生產(chǎn)技術(shù)和管材加工技術(shù)的提高，目前四氟管管壁厚度達(dá)到0.3～1.0mm，加之無垢下熱阻，在液液、汽液傳熱中總傳熱系數(shù)比較高，總傳熱系數(shù)約200～300W/m2 ℃。與金屬列管式換熱器相比較，因采用毛細(xì)管，單位體積換熱面積大約1.5倍，換熱效率與同體積的金屬換熱器相當(dāng)。